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Load port


○ Load Port被安装在EFEM前,用来作为wafer进出EFEM的窗口;
○ 用于工具自动化的智能且灵活的工厂接口模块;
○ 支持卓越的可靠性和超净性能;
○ 最大程度地实现交互操作性,无缝互换性和易于配置;
○ 与所有手动或通过AMHS车辆交付的符合SEMI要求的FOUP和自动前开式装运箱(FOSB)兼容;
○ 在搬运过程中用来保持wafer的洁净度。

关键词:

Load port

所属分类:

全自动晶圆搬运系统

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