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Load port

○ Load Port被安装在EFEM前,用来作为wafer进出EFEM的窗口;
○ 用于工具自动化的智能且灵活的工厂接口模块;
○ 支持卓越的可靠性和超净性能;
○ 最大程度地实现交互操作性,无缝互换性和易于配置;
○ 与所有手动或通过AMHS车辆交付的符合SEMI要求的FOUP和自动前开式装运箱(FOSB)兼容;
○ 在搬运过程中用来保持wafer的洁净度。
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产品描述
参数

设备名称

Load port

型号

ASL300

工艺应用

300mm Wafer 标准装载台

尺寸(参考)

1386*472*493(mm)

Wafer规格

300mm(12寸)Wafer

设备净重

70KG

控制接口

串口,以太网

Mapping

具备Mapping功能

Carrier ID

具备Carrier ID Reader

SEMI标准

E15E57E62E63E64E110S2 S8 S14

设备特点

Load Port被安装在EFEM前,用来作为wafer进出EFEM的窗口;
用于工具自动化的智能且灵活的工厂接口模块;
支持卓越的可靠性和超净性能;
最大程度地实现交互操作性,无缝互换性和易于配置;
与所有手动或通过AMHS车辆交付的符合SEMI要求的FOUP和自动前开式装运箱(FOSB)兼容;
在搬运过程中用来保持wafer的洁净度。

 

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