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IPA干燥机

○ 以Marangoni效应为基础的IPA干燥技术
○ 慢提拉、慢排水功能可选,参数可灵活设置
○ 配置灭火装置,选配烟感,温感,光感及CO2
○ PLC+触摸屏控制方式,可预设多条Recipe
○ 参数设定,过程监控,操作简洁
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产品描述
参数

设备名称

IPA干燥机

型号

WIPA150/200/300

工艺应用

适用于4“~8”晶圆的干燥

尺寸(参考)

1000W*800D*2000Hmm

清洗件规格

4“~8”硅片

设备净重

约200Kg

操作方式

手动/半自动

设备特点

以Marangoni效应为基础的IPA干燥技术
慢提拉、慢排水功能可选,参数可灵活设置
配置灭火装置,选配烟感,温感,光感及CO2
PLC+触摸屏控制方式,可预设多条Recipe
参数设定,过程监控,操作简洁

 

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