IPA干燥机

○ 以Marangoni效应为基础的IPA干燥技术
○ 慢提拉、慢排水功能可选，参数可灵活设置
○ 配置灭火装置，选配烟感，温感，光感及CO2
○ PLC+触摸屏控制方式，可预设多条Recipe
○ 参数设定，过程监控，操作简洁

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产品描述

参数

设备名称	IPA干燥机
型号	WIPA150/200/300
工艺应用	适用于4“~8”晶圆的干燥
尺寸（参考）	1000W800D2000Hmm
清洗件规格	4“~8”硅片
设备净重	约200Kg
操作方式	手动/半自动
设备特点	以Marangoni效应为基础的IPA干燥技术慢提拉、慢排水功能可选，参数可灵活设置配置灭火装置，选配烟感，温感，光感及CO2 PLC+触摸屏控制方式，可预设多条Recipe 参数设定，过程监控，操作简洁