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○ 用于半导体制程中湿法工艺涉及的高纯化学药液的自动供给
○ 完全满足客户化定制,药液可按需供给
○ 可灵活实现化学药液的多点供应
○ 可配置多桶,自动切换,实现不间断工作
○ 可配置双泵,一用一备,提高设备可靠性
○ 合理布局,提升操作便利性及安全性
○ 全封闭设计,满足IC制程洁净度要求
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产品描述
参数

设备名称

Chemical Deliver System

型号

WCDS100

工艺应用

用于半导体制程中湿法工艺涉及的高纯化学药液的自动供给

尺寸(参考)

约1400(L)×800(L)×1300mm(L)

设备净重

约200Kg

操作方式

自动

 

用于半导体制程中湿法工艺涉及的高纯化学药液的自动供给
完全满足客户化定制,药液可按需供给              
可灵活实现化学药液的多点供应                       
可配置多桶,自动切换,实现不间断工作           
可配置双泵,一用一备,提高设备可靠性          
合理布局,提升操作便利性及安全性                 
全封闭设计,满足IC制程洁净度要求

 

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