CDS

○ 用于半导体制程中湿法工艺涉及的高纯化学药液的自动供给
○ 完全满足客户化定制，药液可按需供给
○ 可灵活实现化学药液的多点供应
○ 可配置多桶，自动切换，实现不间断工作
○ 可配置双泵，一用一备，提高设备可靠性
○ 合理布局，提升操作便利性及安全性
○ 全封闭设计，满足IC制程洁净度要求

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产品描述

参数

设备名称	Chemical Deliver System
型号	WCDS100
工艺应用	用于半导体制程中湿法工艺涉及的高纯化学药液的自动供给
尺寸（参考）	约1400（L）×800（L）×1300mm（L）
设备净重	约200Kg
操作方式	自动
	用于半导体制程中湿法工艺涉及的高纯化学药液的自动供给完全满足客户化定制，药液可按需供给可灵活实现化学药液的多点供应可配置多桶，自动切换，实现不间断工作可配置双泵，一用一备，提高设备可靠性合理布局，提升操作便利性及安全性全封闭设计，满足IC制程洁净度要求