Cassette、FOUP Clean清洗机

○ 结构紧凑，性能稳定
○ 支持EAP、FDC、MES等功能
○ PLC+触摸屏控制方式，可预设多条Recipe
○ 软件多重互锁
○ 工艺窗口开放，各工艺时间可自由设定

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产品描述

参数

设备名称	Cassette FOUP
型号	WSC200/WSF300
工艺应用	8” Cassette / FOUP Clean
尺寸（参考）	约1500（L）×1500（L）×2650mm（L）
清洗件规格	8” Cassette / 12’’ FOUP
设备净重	800Kg
操作方式	半自动
设备特点	结构紧凑，性能稳定支持EAP、FDC、MES等功能 PLC+触摸屏控制方式，可预设多条Recipe 软件多重互锁工艺窗口开放，各工艺时间可自由设定