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○ 支持EAP、FDC、MES等功能
○ PLC+触摸屏控制方式,可预设多条Recipe
○ 自动补、配液,兼容多种浓度配比
○ 软件多重互锁
○ 多任务并行处理,有效的提高产能
○ 工艺窗口开放,各工艺时间可自由设定
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  支持EAP、FDC、MES等功能;PLC+触摸屏控制方式,可预设多条 Recipe;自动补、配液,兼容多种浓度配比;软件多重互锁;多任务并行处理,有效的提高产能;工艺窗口开放,各工艺时间可自由设定

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