○ 支持EAP、FDC、MES等功能
○ PLC+触摸屏控制方式，可预设多条Recipe
○ 自动补、配液，兼容多种浓度配比
○ 软件多重互锁
○ 多任务并行处理，有效的提高产能
○ 工艺窗口开放，各工艺时间可自由设定