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硅块、硅棒清洗机


○ 工艺过程全自动处理
○ 可预设多条Recipe,操作简洁
○ 选配SECS/GEM接口
○ 支持厂务MES自动化控制系统
○ 根据工艺需求,模块化,配置Leak Sensor

关键词:

硅块、硅棒清洗机

所属分类:

材料厂用湿法设备

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硅块、硅棒清洗机


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