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硅块、硅棒清洗机

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硅块、硅棒清洗机

○ 工艺过程全自动处理
○ 可预设多条Recipe,操作简洁
○ 选配SECS/GEM接口
○ 支持厂务MES自动化控制系统
○ 根据工艺需求,模块化,配置Leak Sensor
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产品描述
参数

设备名称

硅块、硅棒清洗机; 

型号

WSK150/200/300 A/M

工艺应用

适用于多晶硅块(棒)自动腐蚀清洗;

尺寸(参考)

4000W*2200D*2200Hmm

清洗件规格

硅块:粒径>5mm;20Kg/篮

设备净重

约2000Kg

操作方式

半自动/全自动

 

设备特点

工艺过程全自动处理
可预设多条Recipe,操作简洁
选配SECS/GEM接口
支持厂务MES自动化控制系统
根据工艺需求,模块化,配置Leak Sensor

 

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