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RCA清洗机
○ 人工实现物料在各工位的移位,各工艺槽工艺处理自动完成
○ 先进超声模块,提高清洗效果
○ 自动配、补液功能,精确控制配比
○ 可预设多条Recipe,操作简洁
○ CDS达到半导体制程中湿法工艺水平,高纯化学药液的自动供给
○ 选配SECS/GEM接口
○ 支持厂务MES自动化控制系统
○ 先进超声模块,提高清洗效果
○ 自动配、补液功能,精确控制配比
○ 可预设多条Recipe,操作简洁
○ CDS达到半导体制程中湿法工艺水平,高纯化学药液的自动供给
○ 选配SECS/GEM接口
○ 支持厂务MES自动化控制系统
关键词:
RCA清洗机
所属分类:
特种定制湿法设备
产品附件:
咨询热线:
RCA清洗机
设备名称 |
6寸槽式半自动/手动清洗设备 |
型号 |
WSA150/200/300 A/M |
工艺应用 |
清洗、蚀刻、去胶、显影、切片后、研磨后等 |
尺寸(参考) |
2000W*1400D*1850Hmm |
清洗件规格 |
6寸硅片(兼容4寸) |
设备净重 |
500~800Kg |
操作方式 |
手动/半自动 |
设备特点 |
1.人工实现物料在各工位的移位,各工艺槽工艺处理自动完成 |
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