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RCA清洗机

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RCA清洗机

○ 人工实现物料在各工位的移位,各工艺槽工艺处理自动完成
○ 先进超声模块,提高清洗效果
○ 自动配、补液功能,精确控制配比
○ 可预设多条Recipe,操作简洁
○ CDS达到半导体制程中湿法工艺水平,高纯化学药液的自动供给
○ 选配SECS/GEM接口
○ 支持厂务MES自动化控制系统
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产品描述
参数

设备名称

6寸槽式半自动/手动清洗设备

型号

WSA150/200/300 A/M

工艺应用

清洗、蚀刻、去胶、显影、切片后、研磨后等

尺寸(参考)

2000W*1400D*1850Hmm

清洗件规格

6寸硅片(兼容4寸)

设备净重

500~800Kg

操作方式

手动/半自动

 

 

 

设备特点

1.人工实现物料在各工位的移位,各工艺槽工艺处理自动完成
2.先进超声模块,提高清洗效果  
3.自动配、补液功能,精确控制配比
可预设多条Recipe,操作简洁
CDS达到半导体制程中湿法工艺水平,高纯化学药液的自动供给
选配SECS/GEM接口
支持厂务MES自动化控制系统

 

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