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RCA清洗机


○ 人工实现物料在各工位的移位,各工艺槽工艺处理自动完成
○ 先进超声模块,提高清洗效果
○ 自动配、补液功能,精确控制配比
○ 可预设多条Recipe,操作简洁
○ CDS达到半导体制程中湿法工艺水平,高纯化学药液的自动供给
○ 选配SECS/GEM接口
○ 支持厂务MES自动化控制系统

关键词:

RCA清洗机

所属分类:

特种定制湿法设备

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RCA清洗机


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