产品中心
您现在的位置:
首页
/
/
半导体自动化设备

产品中心

Load port
○ Load Port被安装在EFEM前,用来作为wafer进出EFEM的窗口;
○ 用于工具自动化的智能且灵活的工厂接口模块;
○ 支持卓越的可靠性和超净性能;
○ 最大程度地实现交互操作性,无缝互换性和易于配置;
○ 与所有手动或通过AMHS车辆交付的符合SEMI要求的FOUP和自动前开式装运箱(FOSB)兼容;
○ 在搬运过程中用来保持wafer的洁净度。
Details 白箭头 黑箭头
SMIF
ASL200用于与工艺设备的装载端口传送,可轻松地将SMIF-Pod的装卸集成到各种200 mm和150 mm晶圆处理装载工具。 ASL200专为需要真空加载锁定工具的自适应和设备制造商应用而设计,是一种多种晶圆厂工具提供SMIF功能,并在缩短周期时间和减小占位面积,晶圆监测和重新定位功能等的特点。
Details 白箭头 黑箭头
上一页
1
这是描述信息

总部

地址:安徽省合肥市经济开发区空港集成电路产业园A座

电话:0551-68661089

网站:www.oneweklin.com

邮箱:wwkl@oneweklin.com

北京分公司

地址:北京市大兴区春和路39号C座3号楼

河北分公司

地址:河北省香河机器人产业港1期E2栋

邮编:065400

在线留言

留言应用名称:
客户留言
描述:
验证码
这是描述信息

扫一扫打开手机网站