半导体自动化设备_产品中心_安徽万维克林精密设备有限公司

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半导体自动化设备

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Load port

○ Load Port被安装在EFEM前，用来作为wafer进出EFEM的窗口；
○ 用于工具自动化的智能且灵活的工厂接口模块；
○ 支持卓越的可靠性和超净性能；
○ 最大程度地实现交互操作性，无缝互换性和易于配置；
○ 与所有手动或通过AMHS车辆交付的符合SEMI要求的FOUP和自动前开式装运箱（FOSB）兼容；
○ 在搬运过程中用来保持wafer的洁净度。

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SMIF

ASL200用于与工艺设备的装载端口传送，可轻松地将SMIF-Pod的装卸集成到各种200 mm和150 mm晶圆处理装载工具。 ASL200专为需要真空加载锁定工具的自适应和设备制造商应用而设计，是一种多种晶圆厂工具提供SMIF功能，并在缩短周期时间和减小占位面积，晶圆监测和重新定位功能等的特点。

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