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湿法制程设备

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6寸槽式全自动清洗设备
○ 可以提供完整的湿法工艺解决方案
○ 设备依据客户需求量身定做
○ 良好的设备稳定性和可靠性
○ 有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染
○ 软件和硬件的模块化设计
○ 选配SECS/GEM接口
○ 支持厂务MES自动化控制系统
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8寸槽式全自动清洗设备
○ 可以提供完整的湿法工艺解决方案
○ 设备依据客户需求量身定做
○ 良好的设备稳定性和可靠性
○ 有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染
○ 软件和硬件的模块化设计
○ 支持SMIF自动传输
○ 软件支持GEM/SECSII 接口,提供EAP功能
○ 实时记录生产数据,多种数据分析功能
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Tube/Boat Clean(立式/卧式)
○ 支持EAP,FDC,MES等功能;
○ PLC触摸屏控制方式;
○ 可预设多条Recipe;
○ 自动补、配液;
○ 软件多重安全互锁;
○ 多任务并行处理,有效的提高产能;
○ 工艺窗口开放,各工艺时间可自由设定。
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RCA清洗机
○ 人工实现物料在各工位的移位,各工艺槽工艺处理自动完成
○ 先进超声模块,提高清洗效果
○ 自动配、补液功能,精确控制配比
○ 可预设多条Recipe,操作简洁
○ CDS达到半导体制程中湿法工艺水平,高纯化学药液的自动供给
○ 选配SECS/GEM接口
○ 支持厂务MES自动化控制系统
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硅块、硅棒清洗机
○ 工艺过程全自动处理
○ 可预设多条Recipe,操作简洁
○ 选配SECS/GEM接口
○ 支持厂务MES自动化控制系统
○ 根据工艺需求,模块化,配置Leak Sensor
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切片、磨片清洗机
○ 工艺过程全自动处理
○ 可预设多条Recipe,操作简洁
○ 选配SECS/GEM接口
○ 支持厂务MES自动化控制系统
○ 根据工艺需求,模块化,配置Leak Sensor
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IPA干燥机
○ 以Marangoni效应为基础的IPA干燥技术
○ 慢提拉、慢排水功能可选,参数可灵活设置
○ 配置灭火装置,选配烟感,温感,光感及CO2
○ PLC+触摸屏控制方式,可预设多条Recipe
○ 参数设定,过程监控,操作简洁
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CDS
CDS
CDS
○ 用于半导体制程中湿法工艺涉及的高纯化学药液的自动供给
○ 完全满足客户化定制,药液可按需供给
○ 可灵活实现化学药液的多点供应
○ 可配置多桶,自动切换,实现不间断工作
○ 可配置双泵,一用一备,提高设备可靠性
○ 合理布局,提升操作便利性及安全性
○ 全封闭设计,满足IC制程洁净度要求
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